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十萬級無塵車間的監(jiān)測
1、無塵車間系統(tǒng)的監(jiān)測主要是過濾器的更換周期，還有無塵車間對環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴(yán)格的規(guī)定，保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和人員工作環(huán)境的舒適。
2、整個無塵車間系統(tǒng)配有一套采用初效、中效、過濾器的三級空氣凈化系統(tǒng)，控制潔凈區(qū)內(nèi)塵粒數(shù)等。作為末端過濾裝置過濾器決定著整個凈化系統(tǒng)的運行效果，無塵車間裝修因此對于過濾器的更換時間是非常重要的。
3、在無塵車間的裝修里，無論是安裝在凈化空調(diào)機組末端的大風(fēng)量空氣過濾器還是安裝在送風(fēng)口的空氣過濾器，這些必需要有準(zhǔn)確性的運行時間記錄和潔凈度及風(fēng)量作為更換依據(jù)，如在常態(tài)的使用情況下，過濾器的使用壽命可以長達(dá)一年以上。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
千級無塵車間代表什么意思? 每立方將低于0.5μm粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個下列，就做到了國際性潔凈標(biāo)準(zhǔn)的A1級。現(xiàn)階段運用在芯片級生產(chǎn)制造的潔凈標(biāo)準(zhǔn)針對塵土的規(guī)定高過A1級，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運用在一些級別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個之內(nèi)，這也就是說業(yè)界別名級別中的千級。 千級無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)，微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個之內(nèi)，這也就是說業(yè)界千級無塵車間的含意。（1000級的定義是：每立方英寸內(nèi),大于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆）。 無塵車間級別標(biāo)準(zhǔn)劃分 潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)ISO14644依據(jù)飄浮粒子濃度值這唯1指標(biāo)值來劃分凈化室(區(qū))及有關(guān)控制計劃自然環(huán)境中氣體潔凈度等級的級別，而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范圍之內(nèi)總計遍布的粒子群。
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